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半导体行业SECSGEM协议通讯平台(KingExGem/KingSecsGemTransmitter/KingIOServerSecsGem)
日期:2022-03-01

 一、背景介绍

随着美国对中国芯片行业的商业制裁,中国政府大力推动本土半导体制造行业的发展,中国的半导体制造行业存在着不断增长的利润空间。为了提高国内半导体制造产线数据收集,分析,管理和智能排产等能力,半导体制造规范化并与国际标准接轨成为必需。SEMI(国际半导体产业协会)为半导体制造设备提供了完整的SECS/GEM协议标准。该协议因具有降低设备集成成本,适用于所有制造设备,可以支持无数的应用程序,而获得业界的大力支持。很多大企业如三星,英特尔,东芝等90年代开始就使用SECS/GEM为基础的全自动化产品。中国企业的SECS/GEM产品需求也在国产化的大环境下在逐年上升。

SECS/GEM标准协议是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的“设备 - 主机”的连接标准, 也是被众多类型半导体设备最广泛采用的标准,它定义了消息,状态机和应用场景,使得工厂软件能够实现半导体设备的自动化控制和监督,节约成本并提高制造良率。


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二、产品介绍-产品概览

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应用方向:

(1)SECS/GEM协议通讯接口库软件

(2)SECS/GEM协议设备数据转发软件

(3)半导体工厂设备数据采集平台

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1、产品介绍-KingExGem 驱动

当前版本:KingExGem 1.0

上线时间:20219

软件定义KingExGem是支持SECS/GEM协议通讯的服务型接口库。

软件功能:KingExGem为半导体设备软件或主机软件提供C++C#语言的API。它可以帮助设备供应商为半导体设备快速开发的SECS/GEM协议通讯接口,以便接入到半导体产线中。它也可以帮助半导体制造企业为工厂自动化系统快速开发SECS/GEM协议通讯接口,实现与半导体设备的标准化接口通讯。

目标用户:需求开放SECS/GEM协议通讯接口的半导体设备供应商,需求实施产线自动化的半导体制造工厂业主,无SECS/GEM通讯接口的EAPMES的实施商。

KingExGem主要特征:

(1)支持 SEMI E5(SEC-II), E30(GEM), E37(HSMS);

(2)支持多种GEM场景自动管理;

(3)支持多线程异步调用API;

(4)支持多远程端口通讯。

(5)支持SECS 消息自定义

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2、产品介绍-KingSecsGemTransmitter 转发工具

当前版本:KingSecsGemTransmitter 2.0

开发完成时间:20201

登记号2020SR0415262

软件定义:KingSecsGemTransmitter是支持SECS/GEM协议通讯的数据转发软件。

软件功能:KingSecsGemTransmitter为半导体设备软件提供SECS/GEM协议通讯接口的数据转发服务,使设备软件能够间接地和主机软件通讯。它担任通讯的桥梁,一端通过多种通讯接口(OPC DA, OPC UA, Web Service, API, Restful等)连接设备软件或硬件,一端通过SECS/GEM协议通讯接口连接主机软件,间接地实现设备SECS/GEM协议通讯接口的开放。它极大的缩短开发周期,是更为便捷的通讯方案,对缺乏软件开发团队的设备供应商来说是个极大的利好。同时,支持多设备数据集成转发的特性填补了市场空白。目前为止,它已协助多个设备商实现通讯接口快速开发并接入产线。

目标用户:需求开放SECS/GEM协议通讯接口的半导体设备供应商,需求旧设备改造SECS/GEM通讯接口的半导体制造工厂。

KingSecsGemTransmitter主要特征:

(1)支持SEMI E5(SECS-II), E30(GEM)和E37(HSMS);

(2)支持OPC DA, OPC UA, Web Service, API和Restful等接口对接数据源;

(3)支持多设备数据集成转发和多SECS/GEM连接接口;

(4)支持SEMI E84 设备硬件协议解决方案


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3、产品介绍-KingIOServerSecsGem 采集驱动

当前版本:KingIOServerSecsGem 2.0

开发完成时间:20201

登记号:2020SR0362270

软件定义:KingIOServerSecsGem是支持SECS/GEM协议通讯的设备数据采集驱动软件。

软件功能:KingIOServerSecsGem搭载于的数据采集平台KingIOServerKingView,它可以协助通讯平台与设备按照SECS/GEM标准接口通讯,是保证EAP稳定高效通讯的基础。

目标用户:需求实施产线自动化的半导体制造业主。

      KingIOServerSecsGem主要特征:

(1)支持SEMI E5(SECS-II), E30(GEM)和E37(HSMS);

(2)支持自动创建点表;

(3)提供SECS指令交互方案;

(4)支持SECS消息拓展;

(5)提供MES数据推送方案

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